青海省多晶硅产品品质 为广大下游企业认可

5月24日，在集成电路硅材料产业发展座谈会上，国家电投黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司分别与浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料有限公司、麦斯克电子材料有限公司签署合作协议，这标志着我省多晶硅产品品质达到国际先进水平，并为广大下游企业所认可。

多晶硅材料作为集成电路基础材料的最前端，生产技术和市场一直被国外垄断。经过多年的努力，黄河水电公司新能源分公司发展成为国内唯一一家集成电路应用的高纯电子级多晶硅生产企业，其产品成功应用于集成电路行业，打破了国内市场长期由国外公司垄断的格局。2011年以来，黄河新能源分公司电子级多晶硅连续4年销售量超过百吨，国内市场占有率达到10%;2012年，获得CNAS检测和校准实验室资质认可，允许使用CNAS认可标识;2013年成为符合工信部《光伏制造行业规范条件》的首批企业;2014年，国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》半导体级多晶硅材料研发项目申报成功，目前产品质量已经达到项目全部要求。经第三方权威检测机构检测，我省制造的电子级多晶硅产品质量与德国、日本等知名国际企业多晶硅质量相当。

此外，黄河新能源分公司经过近十年的努力，建成了国内第一条电子级多晶硅生产线，并率先在国内建立了一套完整的满足SEMI标准的电子级多晶硅产品检测标准、指标体系和检测质量控制流程，拥有目前国内唯一按照国际半导体材料与设备协会(SEMI)标准配置的多晶硅检测实验室，这为我省进一步延伸产业链，构建单晶硅、硅片及半导体封装等电子信息产业奠定了基础。

更重要的是，这一电子级多晶硅生产线利用了国内首套完整的冷氢化技术，实现了生产中副产物循环利用，冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平，还原炉回收尾气经处理后达到电子级多晶硅生产要求，实现完全闭路循环，达到了节能减排降耗的绿色生产效果。

当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。对此，黄河上游水电开发有限责任公司总经理魏显贵表示，公司将继续致力于核心技术研发和质量提升，以创新驱动引领未来发展，努力将国内电子级多晶硅市场占有率提升至30%以上，力争成为全国重要的集成电路材料生产基地和行业领军企业。(记者 花木嵯)